2025/12/20 22:57  
在美荷出口管制下，中國無法取得艾司摩爾最先進的DUV以及EUV設備。（路透資料照）
〔編譯魏國金／台北報導〕美國與荷蘭的出口管制，禁止艾司摩爾（ASML）提供中國其先進的深紫光機（DUV），迫使中國許多晶圓廠依賴較舊款的設備，尤其是Twinscan NXT:1980i系統生產發展人工智慧（AI）系統所需的7奈米製程晶片。金融時報引述消息來源報導，如今中國已透過升級老舊的DUV設備，成功提高AI晶片的產量。
知情者指出，中國晶圓廠從二手市場取得相關元件，包括已升級的矽晶圓機械平台模組（stage），以及協助確保晶片層以更高精準度對齊的透鏡與感測器。
報導說，這些對艾司摩爾DUV機台的改善，使中國晶圓廠得以提升其AI晶片的產量。目前已知中芯國際與華為使用其舊款艾司摩爾機台，打造其7奈米製程產線，儘管並不清楚它們是否取得進一步的元件升級。
相關措施突顯中國晶片製造商想方設法，要克服旨在阻礙中國技術崛起的全球出口管制。
報導說，艾司摩爾允許為中國客戶提供工程支援，以維護現有設備的運作。但這家荷蘭公司不得為「套準」（overlay），亦即DUV機台的對準精度提供升級服務，或進行修改，使機台產量提高超過1%。
消息來源說，中國晶圓廠在海外採購零組件，然後運回中國，第三方公司則提供現場工程服務，升級現有的DUV設備。
美國與荷蘭的出口管制，也禁止艾司摩爾提供中國更為先進的極紫外光機（EUV），這導致中國晶圓廠使用DUV多重曝光（亦即多重圖案化）等技術來生產先進晶片，但該法需要較長的機器運作時間，致使生產成本增加、良率下降。
報導說，零組件的升級使晶圓廠得以緩解當中部分限制，提高AI與先進智慧手機晶片的產量。
科技調研公司TechInsights本月指出，中芯國際持續推動多重圖案化技術的界線至7奈米以下製程，而華為最新款麒麟9030處理器，則是中國迄今製造的最先進製程。
TechInsights策略長Dan Kim說，「中國的晶圓廠在無法像台積電與三星等其他廠，可以完全取得最先進設備下，達成令人印象深刻的成就」。