2026-09-24 11:32:48 周佩宇 發佈
三聯（5493）擴大自動化監測產品在半導體產業應用，今年新開發廠房微振動監測方案，鎖定晶圓廠、先進封裝及精密製造等高精度生產環境，目前已推出可攜式快速量測及固定式長期監測兩種方案。公司表示，隨半導體製程及設備精密度提高，過去不易察覺的環境微振動也可能影響設備運作及產品良率，相關監測需求隨科技廠房建置持續增加。

三聯指出，微振動監測與既有地震預警應用不同，地震預警主要是在強烈震動抵達前爭取設備停機時間，微振動監測則著重廠房日常生產環境，透過高精度感測器搭配分析軟體，掌握環境振動是否符合精密設備運作要求。

其中，可攜式方案可用於廠房或設備設置前的快速量測，固定式方案則可進行長期監測，協助客戶掌握環境振動變化。隨晶圓製造、先進封裝等設備對環境穩定度要求提高，即使人體無法感受到的微小振動，也可能對高精度設備及產品良率造成影響。

除微振動監測外，三聯既有地震預警及結構物監測產品也已切入科技廠房，地震發生時可協助產線提前進行設備應變，震後則透過監測數據協助廠務人員快速評估建築及設備環境，加快恢復生產。

三聯上半年自動化監測事業營收約2.22億元、年增近14%，占集團營收約7%。公司後續將持續推動感測硬體、分析軟體及雲端平台整合，由單一儀器銷售朝完整監測系統及資料服務發展，並擴大廠房與關鍵基礎設施安全監測應用。