台積帶頭 買台製檢測設備
2015-09-24 02:40:07 經濟日報 記者江睿智／台北報導
台積電帶頭採購台製設備，為半導體設備在地化與自主化帶來曙光。國家實驗研究院儀器科技研究中心（簡稱儀科中心）與均華精密合作開發「晶片瑕疵檢測設備」，台積電和三星兩大競爭業者率先採用，大幅降低晶片檢測約一半的製造人力與時間，顯示台廠在某些設備上仍有競爭力。
據了解，「晶片瑕疵檢測設備」之所以也賣給台灣競敵三星，是因為早期開發時，國內廠商都不願意使用，要求先看國外業者實績，只有三星願意嘗試。
均華總經理許鴻銘表示，這項晶片檢測設備具有技術門檻價值，更將成為標準製程，「若沒有具備如此功能，將會無法接到訂單」。
他透露，未來將開發大陸市場。
儀科中心研究員黃吉宏表示，半導體晶片瑕疵檢測過程中，是用「揀晶機」將電路沒問題晶片挑選出來，再做進一步檢查。
國外雖有「揀晶機」加上檢測的設備，價格昂貴，且加上檢測功能後，揀晶速度僅剩三分之一，且誤判率高達10%。儀科中心開發的晶片檢測設備，不僅不會因檢測而慢下來，誤判率更僅有1%。
「這是精度與速度的競逐」，他表示，可節省檢測成本與時間，尤其是目前晶片背面瑕疵檢測，現在仍是以人工目測為主，未來可以完成取代人工目測，節省人力。晶元光電協理許嘉良指出，粗估透過該設備，整體的生產成本可降低二分之一到三分之二。
儀科中心現與業者合作開發半導體設備，包括ALD磊晶系統設備、曝光機3DIC等設備。