2016-01-22 12:24 經濟日報 記者張家瑋
由於美商半導體設備大廠跨入電子束檢測，撼動漢微科（3658）在業界領導地位，分盤交易仍止不住煞車，股價再創波段新低至747元。法人表示，在美商設備大廠切入後，漢微科短期將進行本益比修正，有待漢微科端出技術突破好消息止血。
過去由於電子束檢測市場規模不大，應用範圍有限，因此，美商設備大廠一直未切入該領域，但隨著半導體先進製程推進至10奈米、7奈米後，過去光學式檢測已不敷使用，電子束檢測速度雖慢，但晶圓缺陷檢測精確度高，尤其在晶圓邏輯IC及3D儲存型快閃記憶體（NAND Flash）等應用趨勢明確，美商開始重視電子束檢測市場需求，全力投入。
目前該美商電子束檢測設備已從提供國內晶圓大廠研發實驗室，轉而至量產線上，且主攻的電子晶圓缺陷檢測市場，由於電子束檢測速度緩慢是一大罩門，正是漢微科遲遲無法切入晶圓大廠檢測設備原因，如今美商電子束缺陷檢測設備速度及成本較漢微科具優勢，且良率相當，對漢微科而言，無疑一大利空消息。