經濟日報｜2026.07.02 01:49
互補式場效電晶體（CFET）是讓半導體製造邁入更先進世代製程技術的關鍵，台積電（2330）積極投入研發之餘，由於電晶體結構更複雜，需要更強大的周邊支援，驗證分析廠宜特洞燭機先，將與台積電一起大咬CFET帶來的大商機，半導體檢測廠閎康也有望沾光。
宜特積極投入先進製程驗證領域，已啟動次2奈米世代原子層沉積（ALD）新材料選材與驗證服務，進一步延伸至化學材料端的選材、鍍膜測試與品質確認。
業界人士提到，不論是目前的奈米或更先進的埃米世代，傳統沉積方式已達物理極限，接下來都必須採用ALD沉積方式。尤其是埃米等級，不可能運用傳統的化學氣相沉積（CVD）與物理氣相沉積（PVD）方式鍍膜。
目前業界ALD於製程段可用於製造高介電薄膜及相關先進電晶體。宜特的ALD相關服務強調是從材料選擇、鍍膜製程、薄膜分析、製程驗證等，協助晶圓代工廠顧及品質，還有協助材料廠將新材料快速合規化。
閎康方面，據了解，該公司已有承接CFET相關案件的合作經驗。未來當先進製程晶圓廠客戶陸續將相關測試樣品交由其檢測，該公司可以依照客戶需求予以協助。