半導體檢測及設備廠漢微科（3658）及辛耘（3583）昨同步舉行股東會，漢微科董事長許金榮看好下半年景氣，訂單能見度直到年底，預期今年營運將逐季走高；辛耘則在小股東要求下，通過現金股息發放由1.6元提高到3元。
漢微科昨股東會通過16元現金股息及完成董事和獨立董事改選，會後許金榮說，由於大客戶包括台積電（2330）有新的客戶及訂單進來，下半年會比上半年好，訂單能見度可到年底，新產品eScan上市後，今年營運將逐季成長。
新製程可提升需求
許金榮說，由於晶圓廠客戶已進入到20奈米及1x奈米，開發新技術上有許多問題，都需要強而有力的電子束檢測機台，需求持續增加。另已有客戶進入到1x奈米製程，他強調，去年客戶導致1x奈米製程後，漢微科就已有客戶，可說蠻有進展。
此外，針對科磊（KLA）日前再度來台踢館，指電子束檢測速度遠遜於科磊光學檢測產品，對此，他說，這是良性競爭，在嚴格要求、自由競爭之下，大家都會進步，對漢微科而言也是正面發展。
許金榮說，電子束測和光學檢測特性不太一樣，漢微科持續在檢測速度、開發新技術等軟硬體改善等多頭進行，希望明年推出「多槍式」檢測機台後，能有效提升檢測速度。
辛耘配息增至3元
漢微科新產品eScan500已逐漸取代原有eScan320，漢微科發言人沈孝廉說，佔營收比重已來到5~6成。
辛耘（3583）因資本公積充沛、且財務體質健全，昨股東會現場有股東提案，基於所得稅法變更，為股東權益著想，因此股東會承認配發現金股息自原先董事會通過每股1.6元，提高至每股3元，依昨收盤價計算，現金殖利率4.5%。
展望2014年，辛耘董事長謝宏亮指出將持審慎樂觀看法，12吋半導體濕製程設備第1季出貨全球一線半導體大廠，並保持良好訂單能見度。